CT2502
系统精度± 0,1 µm (± 0,03 µm) 测量范围25 mm
应用
高精度单件零件生产检测
校准和监测基准件
测量杆驱动
Plunger connected via separate coupling with moving machine part
测量标准
Zerodur(r)
玻璃陶瓷基体上的
DIADUR
相位光栅
栅距
4 µm
系统精度
± 0,1 µm (± 0,03 µm)
推荐测量步距
0.01µm/0.005 µm
(
5 nm
),配
ND 281B
参考点
上止点下约
1.7 mm
处
测量范围
25 mm
要求的移动力
0.1 N
至
0.6 N
(取决于工作姿态)
允许的径向力
≤ 0.5 N
工作姿态
任意
振动
55
至
2000 Hz
≤ 100 m/s2 (IEC 60 068-2-6)
冲击(
11 ms
)
≤ 1000 m/s2 (IEC 60 068-2-27)
防护等级
IEC 60529
IP 50
工作温度
10
至
40 °C;
参考温度
20 °C
固定
装夹杆
Ø 16h8
重量(不带电缆)
480 g