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应用
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高精度单件零件生产检测
校准和监测基准件
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测量杆驱动
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马达驱动
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测量标准
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Zerodur(r)玻璃陶瓷基体上的DIADUR相位光栅
栅距4 µm
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系统精度
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± 0,1 µm (± 0,05 µm)
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推荐测量步距
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0.01µm/0.005 µm（5 nm），配ND 281B
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参考点
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上止点下约1.7 mm处
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测量范围
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60 mm
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垂直向下
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1 N/1.25 N/1.75 N
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垂直向上
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- /- /0.75 N
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水平
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- /0.75 N/1.25 N
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允许的径向力
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≤ 0.5 N
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工作姿态
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任意
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振动 55至2000 Hz
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≤ 100 m/s2 (IEC 60 068-2-6)
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冲击（11 ms）
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≤ 1000 m/s2 (IEC 60 068-2-27)
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防护等级 IEC 60529
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IP 50
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工作温度
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10至40 °C; 参考温度 20 °C
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固定
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端面
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重量（不带电缆）
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700 g
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