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应用
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精密测量设备; 检测设备
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测量杆驱动
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测量杆通过独立的连接器与机床运动部件相连
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测量标准
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石英玻璃基体上的DIADUR光栅
栅距10 µm
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系统精度
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± 1 µm
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推荐测量步距
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1µm至0.1 µm
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参考点
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距顶点约10 mm
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测量范围
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100 mm
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要求的移动力
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0.5至2 N
（取决于工作姿态）
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允许的径向力
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≤ 2 N
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工作姿态
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任意
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振动 55至2000 Hz
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≤ 100 m/s2 (IEC 60 068-2-6)
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冲击（11 ms）
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≤ 1000 m/s2 (IEC 60 068-2-27)
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防护等级 IEC 60529
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IP 50
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工作温度
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10至40 °C; 参考温度 20 °C
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固定
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端面
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重量（不带电缆）
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1200 g
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