|
应用
|
精密测量设备; 检测设备
|
|
测量杆驱动
|
马达驱动
|
|
测量标准
|
石英玻璃基体上的DIADUR光栅
栅距10 µm
|
|
系统精度
|
± 0,5 µm
|
|
推荐测量步距
|
1µm至0.1 µm
|
|
参考点
|
距顶点约1.7 mm
|
|
测量范围
|
60 mm
|
|
垂直向下
|
1 N/1.25 N/1.75 N
|
|
垂直向上
|
- /- /0.75 N
|
|
水平
|
- /0.75 N/1.25 N
|
|
要求的移动力
|
0.1至0.6 N
|
|
允许的径向力
|
≤ 0.5 N
|
|
工作姿态
|
任意
|
|
振动 55至2000 Hz
|
≤ 100 m/s2 (IEC 60 068-2-6)
|
|
冲击（11 ms）
|
≤ 1000 m/s2 (IEC 60 068-2-27)
|
|
防护等级 IEC 60529
|
IP 50
|
|
工作温度
|
10至40 °C; 参考温度 20 °C
|
|
固定
|
端面
|
|
重量（不带电缆）
|
700 g
|
|
